电子探针x射线显微分析,是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析。适用于分析试样中微小区域的化学成分,是研究材料组织结构和元素分布状态的有效方法。所以,实验室使用电子探针的小伙伴不在少数,想要更好地掌握探针探针的使用技术,这些基础知识不容忽略。电子探针X射线显微分析仪(Electron probe X-raymicroanalyser , EPMA )的简称为电子探针 。...
EMPA主要追求微区化学定量结果精准,因此电子光学分辨率设计相对宽松,电子显微分析对汇聚束束电流要求较大,束斑较粗。 早期EPMA成像手段主要采用同轴光学显微镜,然后移动样品台或移动汇聚电子束,找到感兴趣区,当前依然保留同轴光镜,用来校准WD。EMPA对电子光学系统工作条件的稳定性要求超过SEM很多很多,控制系统增加了一些负反馈机制,确保分析条件和标样分析保持很小的误差。 ...
1.显微结构分析 电子探针是利用0.5μm-1μm的高能电子束激发待分析的样品,通过电子与样品的相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析样品的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针是几个μm范围内的微区分析, 微区分析是它的一个重要特点之一, 它能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析。 2....
早期EPMA成像手段主要采用同轴光学显微镜,然后移动样品台或移动汇聚电子束,找到感兴趣区,当前依然保留同轴光镜,用来校准WD。EMPA对电子光学系统工作条件的稳定性要求超过SEM很多很多,控制系统增加了一些负反馈机制,确保分析条件和标样分析保持很小的误差。同等功能的EPMA比SEM系统造价高出许多。...
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