GB/T 42902-2023
碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法

Laser Scattering Method for Testing Surface Defects of Silicon Carbide Epitaxial Wafers

GBT42902-2023, GB42902-2023

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标准号: GB/T 42902-2023
别名: GBT42902-2023, GB42902-2023
发布: 2023年
发布单位: 国家质检总局
当前最新: GB/T 42902-2023

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