T/GVS 005-2022
半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment
- 标准号
- T/GVS 005-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/GVS 005-2022
- 适用范围
- 规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范围在0.01 Pa～100 kPa的半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试。