ISO 16129:2018
表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 评估X射线光电子能谱仪日常性能的方法
Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Procedures for assessing the day-to-day performance of an X-ray photoelectron spectrometer
- 标准号
- ISO 16129:2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 16129:2018
- 适用范围
- 本文件旨在允许用户定期评估 X 射线光电子能谱仪的几个关键参数。 它并非旨在提供详尽的性能检查，而是提供一组可以经常进行的快速测试。 本文件涵盖的仪器行为方面包括真空、导电或非导电测试样本的光谱测量以及 X 射线源的当前状态。 仪器性能的其他重要方面（例如横向分辨率）不属于本文件的范围。 该文件旨在与配备单色 Al Kα X 射线源或非单色 Al 或 Mg Kα X 射线源的商用 X 射线光电子能谱仪一起使用。
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