测试结果(4)PET薄膜的测试PET反光膜的特点是薄膜具有优良的光学性,可以用在高档真空镀铝等品,可达到良好的效果,现对PET薄膜进行测试测试结果使用膜厚仪对PET薄膜测试,稳定性较好,与客户的真值差异较小。仪器参数总结SM系类膜厚仪采用薄膜反射光干涉原理可广泛的应用于半导体、光刻胶、晶振、多晶硅、氮化层等行业的膜厚测试。...
Profilm3D光学轮廓仪 Profilm 3D光学轮廓仪 Profilm3D光学轮廓仪(全称:白光干涉光学轮廓仪)采用白光共聚焦、白光干涉原理,使用最新建的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术,实现了次纳米级非接触式的表面形貌测量。不仅能测量样品形貌尺寸(深度,宽度等)、台阶高度、粗糙度(兼容IS0 25178),更是在z轴测量精度达到了0.1nm。...
电动 X-Y 载物台使用标准晶片吸盘定制样品架,最大可测量 300mm 的样品,或200mm 的面积。相关应用:硅片掺杂;金属层厚度测试;晶圆片电阻率测试Profilm 3D 白光干涉光学轮廓仪Profilm3D 使用最先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。...
电动 X-Y 载物台使用标准晶片吸盘定制样品架,可测量 300mm 的样品,或200mm 的面积。相关应用:硅片掺杂;金属层厚度测试;晶圆片电阻率测试Profilm3D 白光干涉光学轮廓仪Profilm3D 使用先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。以强大的性价比实现次纳米级的表面形貌研究。...
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