DB35/T 1248-2012
电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
Determination of impurity content in germane gas for electronics industry - Gas chromatography
- 标准号
- DB35/T 1248-2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 福建省地方标准
- 当前最新
- DB35/T 1248-2012
- 适用范围
- 本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
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