GSO ISO/TR 14999-3:2014
光学和光子学 光学元件和光学系统的光学干涉测量 第3部分：光学干涉测量测试设备和测量的校准和有效性

Optics and photonics -- Interferometric measurement of optical elements and optical systems -- Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements

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标准号

GSO ISO/TR 14999-3:2014

发布

2014年

发布单位

GSO

当前最新

GSO ISO/TR 14999-3:2014

 

 

适用范围

This part of ISO 14999 discusses sources of error and the separation of errors into symmetric and non-symmetric parts. It also describes the reliance of measurements on the quality of a physical reference surface and the development of test procedures capable of achieving absolute calibration

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