GB/T 41153-2021由国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 发布于 2021-12-31,并于 2022-07-01 00:00:00.0 实施。
GB/T 41153-2021 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法,在国际标准分类中归属于: 77.040 金属材料试验。
GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法的最新版本是哪一版?
最新版本是 GB/T 41153-2021 。
* 在 GB/T 41153-2021 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。
本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析,测定范围为硼含量不小于5×1013 cm-3、铝含量不小于5×1013cm-3、氮含量不小于5×1015cm-3,元素浓度(原子个数百分比)不大于1%。 注1:碳化硅单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子数计。 注2:碳化硅单晶中钒杂质含量的测定可参照本文件进行,测定范围为钒含量不小于1×1013 cm-3 。
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