ASTM E493/E493M-11(2017)
在内向外测试模式下使用质谱检漏仪的泄漏标准实践

在内向外测试模式下使用质谱检漏仪的泄漏标准实践 是非强制性国家标准，您可以免费下载预览页

适用范围: 1.1 本实践2涵盖了测试之前密封的设备的程序，例如半导体、密封继电器、烟火设备等，以防止通过外壳壁的泄漏。它们可以以不同程度的灵敏度使用（取决于内部体积、外壳的强度、可用于准备测试的时间以及外壳材料对氦气的吸附特性）。在一般实践中，氦气的灵敏度限值为 10−10 至 10−6 Pa m3 /s（0°C 时为 10−9 标准 cm3 /s 至 10−5 标准 cm3 /s），尽管这些限值可能会被超出在某些情况下，朝任一方向发展数十年。
1.2 描述了两种测试方法：
1.2.1 测试方法 A——通过轰炸制备测试部件。
1.2.2 测试方法 B——通过预填充制备测试部件。
1.3 单位——以 SI 或 std-cc/sec 单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同：因此，每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
1.5 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。

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