GB/T 32996-2016
表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry

GBT32996-2016, GB32996-2016

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标准号: GB/T 32996-2016
别名: GBT32996-2016, GB32996-2016
发布: 2016年
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新: GB/T 32996-2016

引用标准: GB/T 19502-2004 GB/T 20066-2006 GB/T 29559-2013

适用范围: 本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

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