GB/T 4058-1995
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers

GBT4058-1995, GB4058-1995

2010-06

GB/T 4058-1995 中，可能用到以下仪器设备

 

BG系列磨抛机

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美国力可公司

 

GR20粗磨机

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美国力可公司

 

SS1000磨抛机

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3913型 Thermo Scientific恒温恒湿培养箱

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赛默飞世尔科技（中国）有限公司

 

LWI-9080系列隔水式电热恒温培养箱

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徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

 

二氧化碳培养箱

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华仪宁创 cell+100 低氧工作站/低氧细胞培养工作站

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宁波华仪宁创智能科技有限公司

 

TRILOS 三辊机

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上海人和科学仪器有限公司

 

TRILOS 三辊机TR80A

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上海人和科学仪器有限公司

 

TRILOS 三辊机TR120A

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上海人和科学仪器有限公司

 

GPX系列研磨抛光机

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美国力可公司

 

CSS200磨抛机

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美国力可公司

 

Chiron 300D金相磨抛机

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Chiron 300DA智能全自动金相磨抛机

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Chiron 250D金相磨抛机

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Chiron 250DA智能全自动金相磨抛机

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

VibroMet™ 2 振动抛光机

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标乐中国

 

EcoMet/AutoMet 250 & 300 磨抛机/动力头

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标乐中国

 

EcoMet™ 30 单&双盘磨抛机

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标乐中国

 

瑞绅葆RBM-II型金属磨样机

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瑞绅葆分析技术（上海）有限公司

 

UNIPOL-800M多点机械压力研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-1260无级变速调压高精度研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-1200M自动压力研磨抛光机

UNIPOL-1200M自动压力研磨抛光机

沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-1200D双盘压力研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-1210金相研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-830金相研磨抛光机

UNIPOL-830金相研磨抛光机

沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-820金相研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-810精密研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-300小型精密研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-1000D双盘压力研磨抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-1200Z振动抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

UNIPOL-900Z振动抛光机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

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371Steri-Cycle二氧化碳培养箱

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3404 Midi 40TM小容量CO2培养箱

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

NUAIRE 8000系列二氧化碳培养箱NU-8500/NU-8700

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

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NU-5800系列二氧化碳培养箱

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Thermo赛默飞HERAcell 240i CO2细胞培养箱

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Eppendorf艾本德Galaxy 48 R二氧化碳培养箱

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Eppendorf艾本德Galaxy 170R二氧化碳培养箱

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GB/T 4058-1995
标准号
GB/T 4058-1995
别名
GBT4058-1995
GB4058-1995
发布
1995年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 4058-2009
当前最新
GB/T 4058-2009
 
 
本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。

GB/T 4058-1995相似标准

T/NXCL 016-2022 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片 T/NXCL 017-2022 300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 T/ZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片 GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

GB/T 4058-1995 中可能用到的仪器设备

抛光机/磨抛机/磨样机 培养仪器/培养箱

谁引用了GB/T 4058-1995 更多引用

GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片


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