GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
Generic specification of ion beam etching system
GBT15861-1995, GB15861-1995
2013-02
- 标准号
- GB/T 15861-1995
- 别名
- GBT15861-1995, GB15861-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15861-2012
- 当前最新
- GB/T 15861-2012
- 适用范围
- 本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。