DIN 50450-1-1987
半导体工艺材料的检验.载运气体和添加剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷电池测定氢、氧、氮、氩和氦中的水杂质

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell


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标准号
DIN 50450-1-1987
发布日期
1987年08月
实施日期
废止日期
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
发布单位
DE-DIN
适用范围
The standard determines a test method for the determination of water impurity in carrier gases and doping gases (H<(Index)>2, O2, N2, Ar, He) used in the semi conductor technology.

DIN 50450-1-1987系列标准


五氧化二磷 测试方法





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