GB/T 16524-1996
光掩模对准标记规范
Specification for registration marks for photomasks
GBT16524-1996, GB16524-1996
- 标准号
- GB/T 16524-1996
- 别名
- GBT16524-1996, GB16524-1996
- 发布
- 1996年
- 采用标准
- SEMI P6-1988 EQV
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16524-1996
- 适用范围
- 本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。 本规范适用于光掩模。