GB/T 11164-1999
真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
GBT11164-1999, GB11164-1999
2012-06
- 标准号
- GB/T 11164-1999
- 别名
- GBT11164-1999, GB11164-1999
- 发布
- 1999年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 11164-2011
- 当前最新
- GB/T 11164-2011
- 适用范围
- 本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在10-4～10-3Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。