GB/T 17864-1999
关键尺寸(CD)计量方法
CD Metrology procedures
GBT17864-1999, GB17864-1999
GB/T 17864-1999 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 17864-1999
- 别名
- GBT17864-1999
GB17864-1999 - 发布
- 1999年
- 采用标准
- SEMI P24-1994 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 17864-1999
- 本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题、也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚焦控制、以及材料等。 计量或测量是生产活动中的基础。首先要靠它的监控来建立可行的生产能力，而后要用它来检验产品是否符合规范或设计指标。 本标准讨论的参数是精确度。...