GB/T 18032-2000
砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal

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标准号

GB/T 18032-2000

发布日期

2000年04月03日

实施日期

2000年09月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H24

国际标准分类号

77.040.01

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。 本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度（AB－EPD）的检验。检验面为（100）面。测量范围小于 5 X 10<上角5> cm<上角-2>

GB/T 18032-2000系列标准