GB/T 18193-2000
真空技术 质谱检漏仪校准
Vacuum technology-Mass-spectrometer-type leak detector calibration
GBT18193-2000, GB18193-2000
- 标准号
- GB/T 18193-2000
- 别名
- GBT18193-2000, GB18193-2000
- 发布
- 2000年
- 采用标准
- ISO 3530:1979 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 18193-2000
- 适用范围
- 本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10<上角-12>Pa·m<上角3>·s<上角-1>漏率漏孔限制。 本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
GB/T 18193-2000相似标准
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