ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005
洁净室及其相关控制环境.第3部分:试验方法

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods

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标准号: ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005
发布: 2006年
发布单位: 美国国家标准学会
当前最新: ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005

适用范围: ISO 14644 的这一部分规定了空气颗粒洁净度指定分类以及表征洁净室和洁净区性能的测试方法。性能测试针对两种类型的洁净室和洁净区：单向流和非单向流，在三种可能的占用状态：竣工状态、静止状态和运行状态。测试方法推荐了用于确定性能参数的测试装置和测试程序。

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