BS EN 62047-1:2006
半导体装置.微型电机装置.术语和定义

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Terms and definitions

被代替

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标准号

BS EN 62047-1:2006

发布

2006年

发布单位

英国标准学会

替代标准

BS EN 62047-1:2016

当前最新

BS EN 62047-1:2016

 

 

被代替标准

03/107914 DC-2003

适用范围

IEC 62047 的这一部分定义了微机电设备的术语，包括此类设备的生产过程。

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