3.真空的测量(1)高真空的测量 质谱仪器中通常使用电离式真空计测量压强为10-1~10-6pa的高真空。电离式真空计的基本原理是利用一定的方式使残留在被测系统中的气体分子电离,然后检测电离产生的正离子强度。在一定的气体压强范围内,正离子流强度正比于气体压强。根据气体分子电离方式的不同,电离式真空计可分成三种:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射能电离真空计。...
3.真空的测量(1)高真空的测量 质谱仪器中通常使用电离式真空计测量压强为~pa的高真空。电离式真空计的基本原理是利用一定的方式使残留在被测系统中的气体分子电离,然后检测电离产生的正离子强度。在一定的气体压强范围内,正离子流强度正比于气体压强。根据气体分子电离方式的不同,电离式真空计可分成三种:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射能电离真空计。...
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