ASTM E766-98(2003)
校准扫描电子显微镜的放大倍数

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适用范围: 正确使用这种做法可以在 10 至 50 000 倍的放大倍数范围内产生精度为 5% 或更高的校准放大倍数。使用可追溯至国际/国家标准（例如 NIST-SRM 484）的校准样本，通过这种做法，可以在操作条件的校准范围内获得精确到 5% 以上的放大倍率。校准放大倍数或尺寸测量的精度将低于本实践中使用的校准样本的精度。为了达到接近校准样本的精度，必须在用于对感兴趣的样本进行成像的相同操作条件（加速电压、工作距离和放大倍数）下应用这种做法。使用这种做法的每个设施都有责任定义放大倍率和操作条件的标准范围以及应用这种做法所需的精度。标准操作条件必须包括操作员可以控制的参数，包括：加速电压、工作距离、放大倍数和成像模式。
1.1 本实践涵盖了扫描电子显微镜放大倍数校准所需的一般程序。真实放大倍率和指示放大倍率之间的关系是操作条件的复杂函数。因此，这种做法必须适用于要使用的每组标准操作条件。
1.2 以 SI 单位表示的值应被视为标准。
1.3 本标准并不旨在解决所有安全问题（如果有），与其使用相关。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM E766-98(2003)校准扫描电子显微镜的放大倍数