ASTM E1078-02
表面分析中试样制备和安装程序的标准指南

Standard Guide for Specimen Preparation and Mounting in Surface Analysis

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标准号

ASTM E1078-02

发布

2002年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E1078-09

当前最新

ASTM E1078-14(2020)

 

 

适用范围

正确制备和安装样品对于表面分析尤其重要。样品制备不当可能会导致表面成分改变和数据不可靠。应小心处理样本，以避免在制备和安装过程中引入虚假污染物。目标必须是保留表面的状态，以便分析能够代表原始表面。俄歇电子能谱 (AES)、X 射线光电子能谱（XPS 或 ESCA）和二次离子质谱 (SIMS) 对通常几纳米 (nm) 厚的表面层敏感。这种薄层可能会受到样品处理 (1)3 或引入分析室之前可能需要的表面处理引起的严重扰动。此外，样品安装技术有可能影响预期的分析。本指南描述了表面分析人员在使用任何表面敏感分析技术时可能需要的尽量减少样品制备影响的方法。还描述了安装样本的方法，以确保所需信息不被泄露。指南 E 1829 描述了表面敏感样品的处理，因此是对本指南的补充。
1.1 本指南涵盖了表面分析之前、期间和之后的样品制备和安装，并适用于以下表面分析学科：
1.1.1 俄歇电子能谱 (AES)、1.1.2 X 射线光电子能谱（XPS 和 ESCA）和 1.1.3 二次离子质谱 (SIMS)。
1.1.4 虽然主要针对 AES、XPS 和 SIMS 编写，但这些方法也适用许多表面敏感分析方法，例如离子散射光谱法、低能电子衍射和电子能量损失光谱法，其中样品处理会影响表面敏感测量。
1.2 本标准并不旨在解决所有安全问题（如果有），与其使用相关。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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