GJB/J 6221-2008
数字式激光平面干涉仪校准规范
Calibration specification for digital laster plane interferometer
- 标准号
- GJB/J 6221-2008
- 发布日期
- 2008年03月17日
- 实施日期
- 2008年10月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- N33
- 发布单位
- CN-GJB-K
- 适用范围
- 本校准规范规定了数字式激光平面干涉仪的计量特性、校准条件、校准项目、校准项目、校准方法、校准结果的处理和复校时间间隔。 本校准规范适用于新制造（或新购置）、使用中、修理后的数字式激光平面干涉仪的校准。其他数字式激光干涉仪的校准也可参照执行。