JIS B 9917-3:2009
清洁室及相关受控环境.第3部分:试验方法

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 3: Test methods

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标准号: JIS B 9917-3:2009
发布: 2009年
发布单位: 日本工业标准调查会
当前最新: JIS B 9917-3:2009

引用标准: ISO 14644-2:2000 JIS B 9920:2002 JIS B 9921 JIS Z 8122

适用范围: 本标准规定了空气颗粒洁净度指定分类以及表征洁净室和洁净区性能的测试方法。

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