GB/T 16943-2009
电子工业用气体.氦
Gas for electronic industry.Helium
GBT16943-2009, GB16943-2009
- 标准号
- GB/T 16943-2009
- 别名
- GBT16943-2009, GB16943-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16943-2009
- 引用标准
- GB 14194-2006 GB 16912-2008 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 GB/T 5832.1-2003 GB/T 6285-2003 GB/T 8984-2008 压力容器安全监察规程 压力管道安全管理与监察规定 气瓶安全监察规程
- 被代替标准
- GB/T 16943-1997
- 适用范围
- 本标准规定了氦的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气、也用作载气和保护气等。
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