BS EN ISO 14644-5:2004
洁净室和相关的受控环境.操作
Cleanrooms and associated controlled environments - Operations
- 标准号
- BS EN ISO 14644-5:2004
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-5:2004
- 被代替标准
- 01/122934 DC:2001 BS DD ENV 1631:1996 BS 5295-3:1989
- 适用范围
- ISO 14644-5:2004 规定了洁净室操作的基本要求。 它适用于那些计划使用和操作洁净室的人。 ISO 14644 的本部分不考虑与污染控制没有直接关系的安全方面，必须遵守国家和当地的安全法规。 本文件考虑了用于生产所有类型产品的所有类别的洁净室。 因此，它的应用范围很广，并没有解决个别行业的特定要求。 ISO 14644 本部分未详细介绍洁净室内日常监测的方法和程序，但应参考 ISO 14644-2 和 ISO 14644-3 监测颗粒，参考 ISO 14698-1 和 ISO 14698-2 监测微生物。