ASTM E986-04(2010)
扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
说明：
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- 标准号
- ASTM E986-04(2010)
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E986-04(2017)
- 当前最新
- ASTM E986-04(2017)
- 引用标准
- ASTM E7 ASTM E766
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