在检测器探针法中用质谱仪检漏器作泄漏检验的标准操作规程 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
氦离子的能量是真空系统内测试气体部分压力的指示器,也是测试对象泄漏率的指示器。需要真空系统以使氦离子从其原始位置飞向检测器。在环境压力下,氦离子在与其他气体粒子撞击前能够飞 0.2 μm 左右。在质谱仪单元 10-4 mbar 的最大压力下,氦离子能够飞两米左右。只有通过真空质谱仪单元的协助,才能确保测试气体顺利到达检测器。质谱仪单元也可以调整成氢气。...
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