ANSI/NFPA 318-2011
半导体生产设备的保护标准

Standard for the Protection of Semiconductor Fabrication Facilities

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标准号

ANSI/NFPA 318-2011

发布

2011年

发布单位

美国国家标准学会

当前最新

ANSI/NFPA 318-2011

 

 

适用范围

1.1 范围。本标准适用于半导体制造设施和类似的制造工艺，包括使用、储存和处理危险化学品的研发区域，以及包含本文定义的洁净室或洁净区或两者的区域。

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