氩/氩混合气 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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具体来说,DUV光刻机利用光刻气体来制造光源,这是一种稀有气体与氟的混合气。常见的光刻气体有氩氟氖混合气、氪氖混合气、氩氖混合气、氩氙氖混合气等等。制造时,需要利用高压激发这些稀有混合气体,产生电子跃迁,从而产生波长稳定的光线,经过聚合滤波等过程形成光源。原子核外的电子在发生跃迁的时候,如果是跃迁至低能级,就会释放出光子,将它在增益介质中反复放大能量后,发射出去就形成了一个波长稳定的激光。...
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