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具体来说，DUV光刻机利用光刻气体来制造光源，这是一种稀有气体与氟的混合气。常见的光刻气体有氩氟氖混合气、氪氖混合气、氩氖混合气、氩氙氖混合气等等。制造时，需要利用高压激发这些稀有混合气体，产生电子跃迁，从而产生波长稳定的光线，经过聚合滤波等过程形成光源。原子核外的电子在发生跃迁的时候，如果是跃迁至低能级，就会释放出光子，将它在增益介质中反复放大能量后，发射出去就形成了一个波长稳定的激光。...
氩中氯气处理流程图明尼克热线010-84723211QQ：3250462584www.mingnike.com 长按识别二维码关注我们全心服务...
氖可用于霓虹灯、水银灯、绝缘检测器、高频率验电器、等离子体研究、激光器等，用作低温冷却剂、标准气、特种混合气等。世界上第一盏霓虹灯是填充氖气制成的（霓虹灯的英文原意是“氖灯”）。氖灯射出的红光，在空气里透射力很强，可以穿过浓雾。因此，氖灯常用在机场、港口、水陆交通线的灯标上。03 氩氩气在常温常压下为无色无臭无毒气体，它不燃烧，无腐蚀性，微溶于水和有机溶剂。氩气经高能的宇宙射线照射后会发生电离。...
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。 高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体，...
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