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六氟化硫气体的电气绝缘性能和灭弧性能非常强。六氟化硫的分子量是空气的5倍,因此六氟化硫离子在电场中的运行速度比空气中的氮、氧等离子小得多,更容易发生复合性,氟离子使气体带电质点减少,大大提高气体的绝缘水平,约为空气的3倍。氟元素是所有元素中对电子亲和合力强的,所以六氟化硫具有很强的电负性,对电子吸引能力极大,极易形成负离子,所以六氟化硫气体的灭弧性能是空气的100倍。...
全氟碳化物PFCs:是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。六氟化硫SF6:是一种优良的绝缘和灭弧介质,被广泛应用于电力行业的高压、超高压断路器、GIS和其他气体绝缘设备中。...
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