Die Richtlinie beschreibt Erfordernisse an den Betrieb reinraumtechnischer Systeme, die im Rahmen der Qualit?tssicherung spezifiziert werden, um die jeweiligen Reinheitsanforderungen an die Prozessumgebung sicherzustellen. Der Anwendungsbereich umfasst alle planbaren und vorhersehbaren Betriebszust?nde. Er umfasst neben dem Reinraumprozess und dem Produktionsprozess den Normalbetrieb, den Ruhebetrieb, St?rungen sowie die St?rungsbeseitigung und die Ma?nahmen der Wartung und Instandhaltung. Die Reinheitsanforderungen sollten alle für den jeweiligen Anwendungsfall wesentlichen Kontaminationskategorien erfassen: physikalische (Partikel), chemische (molekulare) und biologische. Ausnahmezust?nde, wie z. B. Katastrophen und Br?nde geh?ren nicht zum Anwendungsbereich.*www.vdi.de/2083