JC/T 181-2011
半导体用透明石英玻璃器件
Transparent quartz glass devices for semiconductor
JCT181-2011, JC181-2011
- 标准号
- JC/T 181-2011
- 别名
- JCT181-2011, JC181-2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 行业标准-建材
- 当前最新
- JC/T 181-2011
- 引用标准
- JC/T 2064-2011 JC/T 597-2011
- 被代替标准
- JC/T 181-1981
- 适用范围
- 本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。 其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。