GB/T 28632-2012
表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定

Surface chemical analysis.Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.Determination of lateral resolution

GBT28632-2012, GB28632-2012


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GB/T 28632-2012

标准号
GB/T 28632-2012
别名
GBT28632-2012
GB28632-2012
发布
2012年
采用标准
ISO 18516:2006 IDT
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 28632-2012
 
 
引用标准
GB/T 22461-2008
适用范围
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适用于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。 附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

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