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通过适当的布局,两个真空回路的完全独立导致影响因素(图5,第 1 级和第 2 级)的解耦,从而使得两个主变量成为决定各级工艺的唯一因素。两个真空级的解耦也呈指数性地增加理论上可实现的真空。因为第二真空级可以以预抽空的空间开始,所以仅用单级工艺所需真空室体积的一小部分便可实现明显更低的压力。所获得的工艺稳定性和真空值两级工艺与一级工艺中获得的压力曲线完全不同(图 6)。...
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