ISO 25178-604:2013
产品几何技术规范(GPS) 表面纹理 平面 第604部分 非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器

Geometrical product specifications (GPS).Surface texture: Areal.Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments


标准号
ISO 25178-604:2013
发布
2013年
中文版
GB/T 33523.604-2022 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 25178-604:2013
 
 
适用范围
ISO 25178 的这一部分规定了用于表面高度 3D 测绘的相干扫描干涉测量 (CSI) 系统的计量特性。

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