GB/T 30118-2013
声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法

Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications.Specifications and measuring methods


GB/T 30118-2013 中,可能用到以下仪器

 

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高能臼式研磨仪MG100/MG200

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德国徕卡 离子研磨仪 EM TIC 3X

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德国徕卡 镀膜仪 EM ACE200

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芯硅谷玛瑙球 A2238 玛瑙研磨球研磨珠,20mm

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GB/T 30118-2013



标准号
GB/T 30118-2013
发布日期
2013年12月17日
实施日期
2014年05月15日
废止日期
中国标准分类号
L21
国际标准分类号
31.140
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 2828.1 GB/T 3352 GB/T 3505 GB/T 6618
适用范围
本标准规定了人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片等。本标准适用于人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片。这些单晶晶片用作声表面波(SAW)滤波器和谐振器等基片材料。

GB/T 30118-2013系列标准


GB/T 30118-2013 中可能用到的仪器设备





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