KS C IEC 60204-33:2010
机械安全性.机器电动设备.第33部分:半导体制造设备要求

Safety guideline for semiconductor fabrication equipment


 

 

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标准号
KS C IEC 60204-33:2010
发布
2010年
发布单位
韩国科技标准局
替代标准
KS C IEC 60204-33-2010(2020)
当前最新
KS C IEC 60204-33-2010(2020)
 
 
适用范围
이 표준은 반도체의 제조(공정), 측정, 조립 및 시험을 위한 반도체 제조장비와 관련된 기

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