GB/T 30901-2014
高纯氟化铵溶液
High purity ammonium fluoride solution for industrial use
GBT30901-2014, GB30901-2014
- 标准号
- GB/T 30901-2014
- 别名
- GBT30901-2014, GB30901-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30901-2014
- 引用标准
- GB/T 191-2008 GB/T 23769-2009 GB/T 23770-2009 GB/T 6678 GB/T 6680 GB/T 6682-2008 GB/T 8170 HG/T 3696.1 HG/T 3696.2 HG/T 3696.3
- 适用范围
- 本标准规定了高纯氖化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氘化铵溶液。 该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。