JC/T 2243-2014
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
Quartz tube covered in a film for PECVD
说明：
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- 标准号
- JC/T 2243-2014
- 发布日期
- 2014年10月14日
- 实施日期
- 2015年04月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- Q35
- 国际标准分类号
- 81.040.30
- 发布单位
- CN-JC
- 引用标准
- JC/T 597-2011 JC/T 598 JC/T 2066-2011
- 适用范围
- 本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管(以下简称PE石英管)。