KS B 8400-2-2010
激光和激光相关设备.激光位移测量干涉仪测试方法.第2部分:激光干涉仪的试验方法

Lasers and laser-related equipments-Test methods for laser interferometers for displacement measurement-Part 2:Test methods for laser interferometers

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标准号: KS B 8400-2-2010
发布: 2010年
发布单位: 韩国科技标准局
替代标准: KS B 8400-2-2015
当前最新: KS B 8400-2-2020

适用范围: 이 표준은 이송대의 변위를 측정하는 레이저 간섭계의 특성을 측정하고 평가하는 방법에 대하여

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