SJ/T 11493-2015
硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
SJT11493-2015, SJ11493-2015
- 标准号
- SJ/T 11493-2015
- 别名
- SJT11493-2015, SJ11493-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11493-2015
- 适用范围
- 本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度<0.2% (1×1020 at·cm-3)的单晶样品,其中氮的浓度大于等于1×1014 at ? cm-3。
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