SJ/T 11502-2015
碳化硅单晶抛光片规范
Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
- 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
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- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
