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X射线谱仪是电子探针的信号检测系统,分为:能量分散谱仪(EDS),简称能谱仪,用来测定X射线特征能量。波长分散谱仪(WDS),简称波谱仪,用来测定特征X射线波长。EDS常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。...
分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。分析x射线的强度,则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是x射线谱仪,专门用来检测x射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。...
分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。分析x射线的强度,则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是x射线谱仪,专门用来检测x射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。...
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