电子材料晶片参考面长度测量方法, 您可以免费下载预览页
SEG和QFSG样品使用AFM (Park Systems NX10),扫描范围为50 × 50µm)在非接触模式下进行表征,用于成像,接触模式用于LFM测量,以识别石墨烯(参考下方数据图4)。图4:原子级平坦SEG台阶的AFM测量在相距300微米的两个大约100纳米高的衬底台阶之间。在跨越这个距离的单线扫描中,没有检测到SiC阶跃,(这些至少有250 pm高。)...
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