随着半导体制程的缩小，半导体行业无机杂质元素检出限量低至ppt级，对ICP-MS的产品性能（检出限、长期稳定性、长期可靠性等）要求极为苛刻，可在传统行业成熟使用的ICP-MS较难应用于半导体行业，市场被国外产品长期垄断。

莱伯泰科LabMS 3000s ICP-MS专为半导体行业设计，通过了SEMI S2认证，其高性能冷等离子体结合加强离子传输系统，提供了ppt级别的检出水平；稳定可靠的ICP离子源带来极高的系统稳定性，确保了仪器可以24h不间断稳定安全运行。莱伯泰科ICP-MS已在国内某头部集成电路制造企业通过验证，填补了国产ICP-MS在半导体领域的空白，打破了国外厂商的长期垄断，助力半导体检测设备国产化替代进程。