奖项主体:LabMS 3000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪
奖项所属
北京莱伯泰科仪器股份有限公司
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随着半导体制程的缩小,半导体行业无机杂质元素检出限量低至ppt级,对ICP-MS的产品性能(检出限、长期稳定性、长期可靠性等)要求极为苛刻,可在传统行业成熟使用的ICP-MS较难应用于半导体行业,市场被国外产品长期垄断。
莱伯泰科LabMS 3000s ICP-MS专为半导体行业设计,通过了SEMI S2认证,其高性能冷等离子体结合加强离子传输系统,提供了ppt级别的检出水平;稳定可靠的ICP离子源带来极高的系统稳定性,确保了仪器可以24h不间断稳定安全运行。莱伯泰科ICP-MS已在国内某头部集成电路制造企业通过验证,填补了国产ICP-MS在半导体领域的空白,打破了国外厂商的长期垄断,助力半导体检测设备国产化替代进程。
获奖名称:半导体领域国产 ICPMS 先行者
奖项所属:北京莱伯泰科仪器股份有限公司
颁奖单位:分析测试百科网
2023年06月
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