超声波光探伤装置MIV-X 基于岛津独有的光学成像技术，将超声波振子和频闪观测器相结合，通过激励试样表面，并以光学方式检测表面位移，从而观测超声波在表面传播情况。可以轻松、无损地检测材料近表面的缺陷，包括不同材料的粘接剥落、以及油漆、热喷涂和涂层等，可弥补超声波检测（UT）难以检测的区域。

提供一种能够一次检查目标物体的测量区域并且在测量区域内没有不一致发生的缺陷检测装置。缺陷检测装置(10)包括：用于在目标物体S内产生弹性波的产生单元(信号发生器11和振动器12)；用于在目标物体S的表面的测量区域上进行频闪照明的照明单元(脉冲激光光源13和照明光透镜14)；以及用于通过控制弹性波的相位以及频闪照明的定时，集中地测量关于弹性波的至少三个相互不同的相位在测量区域内每个点处的法线方向上的位移的位移测量单元(散斑剪切干涉仪15)。测量区域内的缺陷基于通过位移测量单元被获取的关于至少三个相位的在测量区域的每个点处的法线方向上的位移被检测。还包括一种缺陷检测方法。