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在《国家集成电路产业发展推进纲要》的推动下，中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体行业的生产良率与经济效益息息相关，硅片晶圆纯度、生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂、封装材料、环境洁净度等都可能会影响生产良率。
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ICP-MS）或高分辨电感耦合等离子体质谱仪（HR-ICP-MS）、辉光放电质谱仪（GD-MS）、气质联用仪等进行分析。
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